爱德华真空泵紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可用于负载锁定和清洁应用的小且轻的泵之一。 

    其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用***， 有助于保护环境。

    罗茨真空泵的特点是：启动快，耗功少，爱德华EH1200真空泵维修，运转维护费用低，真空泵，抽速大、效益高，爱德华EH500真空泵订购，对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感，在100～1帕压力范围内有较大抽气速率，能迅速排除突然放出的气体。这个压力范围恰好处于油封式机械真空泵与扩散泵之间。因此，它常被串联在扩散泵与油封式机械真空泵之间，用来提高中间压力范围的抽气量。这时它又称为机械增压泵。

   罗茨真空泵广泛用于真空冶金中的冶炼、脱气、轧制，以及化工、食品、医学工业中的真空蒸馏、真空浓缩和真空干燥等方面。真空泵配件为用于真空泵噪声治理的，真空泵消音的。

    真空泵涡轮分子泵的极限压力p1可用泵出口压力p2除以泵的压缩比K得来，即(2-24)  K涡轮分子泵的K值，随分子量的增加而增大，它对油蒸气的压缩比特别大  因而能够获得碳氢化合物污染较少的清洁真空，但对于轻的气体如氢的压缩比却很低，所以前级氢分压是影响泵的极限压力的因素，氢的分压主要来源于前级 机械泵运转时油裂解产生氢的影响，不同牌号的前级机械泵油，爱德华EH250真空泵订购，对分子泵的极限压力的影响远远大于泵轴承润滑油的影响。高压缩比的分子泵，经过烘烤后能获得1×10=6~1×10-9Pa的真空度，氢占残余气体成分的90%以上。

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