爱德华真空泵紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可用于负载锁定和清洁应用的小且轻的泵之一。 

    其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，爱德华EH2600真空泵零售，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。模式可在空闲期间降低设备使用率，真空泵，从而降低使用***， 有助于保护环境。

    真空泵电动机启动异常或过热怎么办？

    首先电动机启动异常。“异常”指噪声过大或无法启动，原因可能是泵内（叶轮拖分配板内）存在异物、电动机供电压偏低、电动机缺相等问题。

    基于此，检查电动机的接线，避免存在缺相故障或供电故障等问题;如果真空泵长时间未运行，除了开端盖除锈外，还应当在内部增添除锈剂;必    要时还应当将端盖打开，爱德华EH1200真空泵订购，检查其内部是否存在杂物，调整好分配板和叶轮间的距离。其次电机过热。原因有三点，一为真空泵的供水量偏大，进而产生较大电机负荷;二为电动机存在缺相;三为排气孔被堵塞。

    真空泵换油在油温升高后进行。对泵严禁用煤油、、酒  精等作非拆卸的清洗；平时也要注意保护进气口，检查滤网，  防止灰尘、杂质进入泵内，弄污泵油、损坏真空室。

    左右机座是泵的主要部分，拆卸时应仔细、小心，并注意检查各零部件的损伤情况和装配位置，拆下的零部件应分别放好，以免相互碰伤，将拆开的零件、部件清洗后详细检查，按照损伤情况确定修整或配换。

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